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ASML烦扰了！公司掀桌子了！凭证媒体报谈银河酷娱招聘艺人标准，10月13日，佳能公司雅致推出5纳米芯片压印机，这样的压印机可以出产5纳米芯片，昔日以致可以出产2纳米芯片，这下ASML遭受大贫瘠了。

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一、纳米压印机平替EUV光刻机近在眉睫

这次佳能公司推出FPA-1200NZ2C纳米压印半导体制造开导，这样的压印开导旨趣上跟EUV光刻机不同样，芯片加工历程比ASML的EUV光刻机愈加纯粹，而且跟着昔日掩模时刻的改良，这款压印芯片开导还可以出产2nm芯片。

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纳米压印开导履行电路图案回荡，这是最遑急的半导体制造工艺。据佳能先容，传统的光刻开导通过将电路图案投射到涂有抗蚀剂的晶圆上，而新产物通过在晶圆上的抗蚀剂上压印有电路图案的掩模来罢了这少许，就像邮票同样。由于其电路图案回荡历程不经过光学机构，因此可以在晶圆上诚笃地再现掩模上的风雅电路图案。

据先容，佳能的纳米压印光刻时刻可罢了最小线宽14nm的图案化，相配于出产目前最先进的逻辑半导体所需的5nm节点。此外，跟着掩模时刻的进一步改良，纳米压印光刻有望罢了最小线宽为10nm的电路图案，相配于2nm节点。

而且更让ASML烦扰的事情是，这款佳能推出的纳米压印工艺开导，联系于ASML的光刻机芯片出产来说，偶而裁汰40%的制形资本和90%的电量。

然则目前来说，ASML可能还有喘气之机，佳能这款芯片出产开导产量低，而且目前还在完善工艺，瞻望2025年量产，这样一来，ASML可能还有一两年时分好快卖EUV光刻机了，如若目前还不卖，到佳能芯片出产开导广宽出产的时候，ASML公司的EUV可能就卖不动了。

天然了，关于我国来说，ASML的EUV不卖，推测佳能这款开导卖的可能性也不大，我国目前如故要依靠自主革命，依靠我方搞出来先进制程EUV光刻机，或者是光刻厂，这样在昔日才不会被别东谈主轻松卡住脖子了。而这样一来，目前佳能5纳米芯片压印出产开导出来，就够让ASML痛楚了，如若昔日我国光刻机也冲破了，那么ASML推测就更卖不出去了，那可能就愈加欲哭无泪了。

二、纳米压印时刻国外上的施行应用

目前，纳米压印时刻还是在施行芯片制造中进哄骗用。

近日音尘称，韩国的SK海力士从佳能引进了纳米压印开导，野心在2025年前后，运行量产3D NAND闪存，并在测试收敛很好。

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“与EUV比拟，纳米压印时刻形成图案的解放度较低，因此瞻望将优先用于出产保管一定图案的NAND型闪存。”SK海力士运行采购开导亦然因为这个原因。如若纳米压印开导罢了商用化，以SK海力士为首的NAND闪存企业将偶而擢升从200层运行的工序难度越来越高的3D NAND闪存领域的出产后果。

据称佳能纳米压印开导的时刻标的可以，套刻精度达到了2.4nm/3.2nm，每小时可制造100片以上晶圆，基本达到了3D NAND大鸿沟出产的水平。

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三、纳米压印时刻国产推崇情况

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纳米压印时刻一直是国产芯片开导企业追踪的热点时刻之一，在此领域，目前主要有两大公司值得尽头顾问：苏大维格和天仁微纳。

近日，苏大维格公开暗示：纳米压印光刻领域，公司开导主要为私用，对外售售金额与直写光刻机比拟较小。公司已顾问到纳米压印光刻在集成电路和芯片制造领域具备替代传统光刻的应用后劲，并在积极布局。

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那么，纳米压印时刻目前推崇何如呢？苏大维格的夏珍先容：“目前基于纳米压印时刻的开导还没量产，处于量产评价阶段，但从实验室的角度来看，还是罢了了10+nm，昔日将进一步拓展至5nm。”

另外值得顾问的是深得华为哈勃投资喜爱的天仁微纳。

它开导于2015年，是一家微纳加工开导和经管决议提供商，公司专注于纳米加工领域，尤其是纳米压印时刻。

目前天仁微纳还是研发出了多款高精度紫外纳米压印开导。据官网贵寓暴露，他们的纳米压印开导，还是可以在150／300mm基底面积上罢了高精度（优于10nm ），也说是说施行精度还是达到了10nm级别。

而目前这些开导，也用于DOE、AR／VR衍射光波导（包括斜齿光栅）、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED、微透镜阵列等应用领域的量产。

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天然说，目前这种开导，并没灵验于环球最为熟练的逻辑芯片、存储芯片等，但服气也不太远了。

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从苏大维格和天仁微纳来看，目前国产在纳米压印时刻上是有一定的时刻储备的，并非一派空缺，而况在国外上也算走在前线了。国产纳米压印时刻全面情况，可参看飙叔小文：深度分析！“纳米压印”能否替代传统光刻机，罢了弯谈超车？实验室已罢了10+nm ！

因此，纳米压印时刻的降生为半导体制造领域带来了新的想路和次序。尽管其仍需进一步探索和引申，但其有望罢了对传统光刻时刻的替代，进一步鼓动了半导体制造业的革命发展。

飙叔感谢您花时分顾问与共享，感谢在我的东谈主生谈路中多了这样多的志同谈合的一又友，使我的生涯变得不再并立孤身一人，不再败兴。